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Kawasaki Robotics晶圆传送机器人20系列
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产品: 浏览次数:10Kawasaki Robotics晶圆传送机器人20系列 
品牌: Kawasaki Robotics
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最后更新: 2024-05-20 15:35
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    TTS系列机器人可以在没有轨道的情况下访问EFEM的2个和3个FOUP。专门设计的驱动系统使机器人能够*其平稳且高精度地移动。此外,其刚性伸缩机构可实现高位和低位的高速操控。
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