美国Kawasaki Robotics佳武旗舰店
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Kawasaki Robotics晶圆传送机器人20系列 TTS系列机器人可以在没有轨道的情况下访问EFEM的2个和3个FOUP。专门设计的驱动系统使机器人能够*其平稳且高精度地移动。此外 |
2024-05-20 |
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Kawasaki Robotics 晶圆传送机器人NTS10 |
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